Sputtering(스퍼터링), 물리적 증착방법의 대표자
이번 게시물은 스퍼터링에 대한 내용입니다. 스퍼터링의 정의, 장단점, 종류, 이용 순으로 알려드리겠습니다. 1. 정의 진공증착법의 일종으로 비교적 낮은 진공도에서 플라즈마를 발생시켜 이온화한 아르곤 등의 가스를 가속하고, 타겟에 충돌시켜 타겟의 원자를 분출 그리고, 그 근방에 있는 기판 상에 막을 만드는 방법을 말합니다. 쉬운 예로 들면 벽으로 골프공을 세게 던지면 돌 부스러기가 나오겠죠? 이 현상이 스퍼터링 현상입니다. 이 스퍼터 현상을 이용한 장비가 바로 스퍼터입니다. 물리적 증착 방법의 대표주자입니다. 2. 스퍼터의 장단점 장점 막 두께의 균일성이 뛰어나다(step coverage우수), 금속, 합금, 화합물, 절연체등의 다양한 재료 증착이 가능하다, 큰 면적의 target이 이용가능하고, 박막의 ..
2021. 5. 11.